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Mártil de la Plaza, Ignacio ; Bravo, D. ; Fernández, M. ; García, S. ; López, F.J. | American Institute of Physics | 1995-11-27SiNx:H films with a wide composition range and, some of them, with low oxygen content are deposited at room temperature. The defects observed in the films are attributed to Si-dangling bonds, with a structure depending on film composition. For t[...]
